Cleanroom Users Meeting #6
Monday, 5 October 2026 -
14:00
Monday, 5 October 2026
14:00
Welcome / Introduction
-
Yevgen Bilevych
(
uni-bonn
)
Welcome / Introduction
Yevgen Bilevych
(
uni-bonn
)
14:00 - 14:05
Room: Kreuzbergweg 24/0.052 (FTD) - Präsentationsraum
14:05
Status of the gas system installation for PECVD and RIE Oxford machines
-
Markus Ball
(
Helmholtz-Institut für Strahlen- und Kernphysik
)
Jerome Laubner
(
FTD
)
Status of the gas system installation for PECVD and RIE Oxford machines
Markus Ball
(
Helmholtz-Institut für Strahlen- und Kernphysik
)
Jerome Laubner
(
FTD
)
14:05 - 14:15
Room: Kreuzbergweg 24/0.052 (FTD) - Präsentationsraum
14:15
Idonus mask aligner overview
-
Andreas Ulm
(
Universität Bonn - SiLab
)
Sabine Hartung
Idonus mask aligner overview
Andreas Ulm
(
Universität Bonn - SiLab
)
Sabine Hartung
14:15 - 14:35
Room: Kreuzbergweg 24/0.052 (FTD) - Präsentationsraum
14:35
Oxford Pl400 new backing plate evaluation
-
Daniel Leinz
(
FTD Bonn
)
Oxford Pl400 new backing plate evaluation
Daniel Leinz
(
FTD Bonn
)
14:35 - 14:45
Room: Kreuzbergweg 24/0.052 (FTD) - Präsentationsraum
14:45
Fine Placer upgrade
-
Klaas Padeken
(
Helmholtz-Institut für Strahlen- und Kernphysik
)
Fine Placer upgrade
Klaas Padeken
(
Helmholtz-Institut für Strahlen- und Kernphysik
)
14:45 - 14:55
Room: Kreuzbergweg 24/0.052 (FTD) - Präsentationsraum
14:55
IT news
-
Markus Gruber
(
FTD
)
IT news
Markus Gruber
(
FTD
)
14:55 - 15:10
Room: Kreuzbergweg 24/0.052 (FTD) - Präsentationsraum
15:10
AOB
-
Yevgen Bilevych
(
uni-bonn
)
AOB
Yevgen Bilevych
(
uni-bonn
)
15:10 - 15:45
Room: Kreuzbergweg 24/0.052 (FTD) - Präsentationsraum
MPGD2026 Prag report Al GEMs project Cleanroom Introduction and safety course Lecture 09.10.2026, Training 23.10.2026, Exam 30.10.2026 CR clothes washing